晶圓標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-玻璃中的微量元素旨在促進(jìn)玻璃中微量元素化學(xué)分析方法的發(fā)展。添加到玻璃基質(zhì)中的61種元素的標(biāo)稱質(zhì)量分?jǐn)?shù)在10 mg/kg到80 mg/kg之間。晶圓標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-玻璃中的微量元素的一個單元由四個晶圓組成，從一根手拉桿上切下3毫米厚的晶圓。硅片的橫截面為橢圓形至圓形，標(biāo)稱直徑為12 mm至14 mm。

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